由于真空設備在制造和使用過程中存在各種污染，對其性能的影響很大。因此，真空裝置中污染的防治與清除非常重要。真空部件清洗技巧如下：

一、溶劑去油

零件所粘附的油脂分為礦物油、動植物油兩大類，礦物油可用有機溶劑去除，動植物油可用堿溶液化學去除，但實際上兩類油脂經常同時存在，所以在清洗時往往需要先后采用數種不同的溶劑。

1堿液去油

當零件浸入堿液時，由于堿液與油脂的化學作用可使動植物油轉化為脂肪酸鹽類（皂化作用），這些鹽類能溶解于水，從而能使零件除去油脂。金屬零件從去油溶液中取出后應立即在溫水中徹底清洗，然后再用冷水清洗。若金屬表面不水濕潤（有水滴）即表示油污尚未除盡，應再次進行處理。

2有機溶劑去油

有機溶劑能夠溶解礦物油和動植物油，通?？膳c堿液去油配合使用，常用有機溶劑有三氯乙烯（C2HCl3）、四氯乙烯（CCl4）、丙酮（C3H6O）、汽油、乙醚等。水是各種無機物和其他物質的良好溶劑，由于自來水中含有較多的氯離子，所以一般均用加熱后的自來水進行清洗，當要求較高時，可采用蒸餾水或去離子水，通常用流動的熱水清洗電鍍后和用酸、堿腐蝕后的零件。

二、酸、堿浸蝕處理

去油后進行浸蝕處理，目的是去除金屬表面的氧化物，經過熱處理的零件，油污已不存在，可直接進行浸蝕處理，以去除退火后的氧化層。浸蝕處理一般在酸性溶液中進行，大多數金屬的氧化物以及金屬本身都能與適當濃度的酸溶液起化學反應，氧化物與酸反應生成鹽和水，金屬與酸作用生成鹽和氫氣，氫氣的一部分被金屬表面吸附后，會使某些金屬變脆，為了避免金屬變脆和過度腐蝕，可在浸蝕液中加入緩蝕劑，并適當控制浸蝕溶液的的濃度及溫度。

三、電化學清洗

將待清洗的金屬零件放在某種溶液中，并將零件接在電源的正極或負極，另外再用某一材料制作成的極板接電源的另一極，調節電源電壓，獲得一定電流密度，達到去油和去除金屬表面氧化層的目的。

電解去油的效率比化學去油高好幾倍，如果用堿液作為電解液，可用交流或直流作為電源，但交流的電解去油速率不如直流快。電解去油的原理是：電解時在電極上產生劇烈的氣泡（在陰極上產生氫氣，陽極上產生氧氣），零件上附著的油脂薄層因受機械力的沖擊而破壞，同時，油脂和堿液起皂化和乳化作用，加速了去油過程。電解用的電源電壓通常為2～12V，極間距離為5～15cm 。

四、超聲波清洗

超聲波清洗的原理是利用它所造成介質的“空隙現象”，即超聲波的振動引起清洗介質疏密變化而達到清洗目的。振動使介質時而稀疏，時而閉合，稀疏時形成瞬時的空隙；閉合時產生瞬時沖擊力可達到幾個大氣壓，這個強大的沖擊能破壞物體表面的油膜，使之和污染物一起脫離物體表面被沖落到溶液中。

超聲波清洗可以去掉零件上孔內部的污染物，這是一般清洗方法所無法實現的，超聲波清洗的溶液可以用水和其它溶劑，若用三氯乙烯會有更好的去油效果，常用工作頻率為4～10MHz。

結束語:通過本文介紹，作為專用設備的制造和使用者，我們在真空設備的使用和維護過程中，要做好清潔處理，去除或減少污染物，做到既有利于獲得良好真空、又能提高產品的使用壽命和可靠性。

參考文獻：達道安，真空設計手冊 [ M ]