ESDP變螺距干式螺桿真空泵

- ESDP variable pitch dry screw vacuum pump

ESDP干式螺桿真空泵使用了獨特的螺桿轉子型線，動力節省30%，排氣溫度低，工藝穩定，干式螺桿泵產品適用于各種領域的真空工藝，也維持了z u i 佳的真空效率和耐用性。ESDP系列不使用油和水，用可變壓縮方式操作，水蒸氣和液態混合工藝，非常適合干燥，溶劑回收，化工，制藥，塑料等各種真空工藝。

特點

■ ESDP干式螺桿真空泵優點及特征

1.吸入效率(提升15%)。

2.排氣效率改善(2級可變，連續可變頻率)。

3.極限壓力：1*10-2Torr(托)。

4.排氣溫度降低50%。

5.電力消耗減少30%。

6.不使用油和水，不會造成油和水的污染。

7.低功耗、低噪音、低振動，動平衡好，沒有慣性力，可高速運行。

8.設計結構簡單，易保養，維修費用低，壽命長。

9.適用范圍廣，具有高真空性能。

10.使用壽命長，氣體接觸部位都具有聚四氟乙烯、鎳和哈氏合金涂層(部分工藝可選用特種材質解決腐蝕問題)。

11.唇型密封和機械密封等多種密封方式，滿足不同的工藝應用。

12.前后采用稀有潤滑方式，提高軸承耐用性。

　　■ ESDP干式螺桿真空泵概述

　　極限壓力完全無油無水

　　ESDP干式螺桿真空泵使用了獨特的螺桿轉子型線，動力節省30%，排氣溫度低，工藝穩定，干式螺桿泵產品適用于各種領域的真空工藝，也維持了**佳的真空效率和耐用性。

　　ESDP系列不使用油和水，用可變壓縮方式操作，水蒸氣和液態混合工藝，非常適合干燥，溶劑回收，化工，制藥，塑料等各種真空工藝。

典型應用

　　■ ESDP干式螺桿泵的應用范圍

　　●ESDP系列在半導體合成及液晶生產上的應用，主要有半導體等離子增強氣相沉淀(PECVD)和反映離子刻蝕(RIE)工藝，液晶生產蝕刻制程和生產TFT熒幕電漿(PLASMA)的CVD制程中。此工藝要求返流為0，以保護工件免受污染。

　　● 在石油化工中，主要是抽取可凝性氣體，或有毒氣體，或腐蝕性氣體，或含有微塵的氣體。

　　●制藥行業，用于藥物的真空干燥，藥物中間體回收，回收氣體消毒劑，為人造器官提供清潔無菌條件等。

　　●化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收，例如萃取回收丙酮，多元醇等工藝

　　●工業排氣;集中式真空處理系統

　　●擠出機的混合工藝及板材的排氣工藝

　　●混合樹脂脫腥工藝;在脂肪酸生產中用于消除水污染，及噴射器中的阻塞物

　　●食品行業用于香料、香精濃縮，食品包裝等。

　　■ ESDP干式螺桿真空泵技術參數